真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱故障分析
一、按键无法操作
1. 手套箱压力是否正常；
2. 检查PLC的通讯线是否松动；
3. 公共端24M、M、COM等的接线有松动。
二、真空泵操作不了
1. 请查看真空泵泵体上的按钮开关是否打开，“0 OFF” “1 ON”；
2. 查看真空泵的断路器是否跳闸。
三、真空挡板阀打不开
1. 工作气压力太低，压力范围应该是0.4-0.6MPa之间；
2. 挡板阀未通电。
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手套箱的核心技术是什么
手套箱是一个要把箱体内的气氛与空气完全隔绝的系统。箱体外空气中氧气的含量大于20％或 200000 PPM（百万分之一），而箱体内的氧气含量小于1PPM，手套箱内外氧气浓度相差近一百万倍，微小量的空气泄漏入手套箱，将对手套箱内的氧含量造成很大的 影响。因此，密封对手套箱是至关重要的，是手套箱核心的技术。
手套箱上有很多连接处和橡胶手套，少量空气泄漏入手套箱内是在所难免的。另外，在使用手套箱时，转移入手套箱的物料也不可避免要带入少量水和氧。还有，手套箱使用的工作气中也含有几个甚至几十个PPM的水氧。所有这些杂质，都是气体净化系统循环同时除去的。
由此可见，手套箱的核心技术是密封和气体纯化效率。
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